EF陶瓷吸盘应用案例

产品简介

核心产品优势

1. 高纯氧化铝基材，零污染

   高纯度氧化铝，无重金属析出，适配镀膜洁净腔体，杜绝硅片金属污染、色斑不良。

   
   

2. F 叉指精密结构，适配石墨舟工位

   多叉指镂空造型，精准伸入石墨舟卡槽，取放片干涉小，适配 182/210 大尺寸超薄硅片（100‑130μm）。

   
   

3. 耐磨抗高温，长寿命

   可耐受腔体短时高温，耐等离子与工艺气体腐蚀，相比 PEEK 抓手无高温变形、橡胶无老化掉粉，使用寿命大幅提升。

   
   

4. 表面工艺可选

   工作面可做光滑抛光面或多孔微孔真空吸附面；可做 ESD 防静电处理，消除静电击穿电池片风险。

   
   

5. 全尺寸定制

   叉指数量、叉指厚度、定位孔、安装基准、真空流道均可按设备图纸定制；支持小批量试样，批量国产化替代。